“蓝河科技一直双担ic设计和光刻机的光源系统制造，业界内都知道的消息！林成建的身份，我早查清！陈惊璆四处拉投资、找合作，到处碰壁，你以为我知道？！”郑河些愤怒：“你耍我？！”

计海擦着额头冒出的冷汗，慌乱否认：“……”

郑河重重冷哼，审度计海的目光如刀片般，似乎对计海的才能产生怀疑：“那些科研成真你的？”

计海连连点头：“当然都我的！郑总，您说我一搞科研的，怎做得来内-应这种事？”

如科研人员大多非长袖善舞，郑河早踹开计海。

“虽然你搜来的消息都没用，过这也说明蓝河科技最近确实处境艰难。”郑河脸色缓和些，冷着说：“蓝河科技拉到投资，革芯项目没人好，陈惊璆居然想办解决迫在眉睫的资金问题，而跑去各研究团队找他们合作攻破光刻机技术！”

“哈哈哈哈……”郑河摇头，上下摇晃着食指嘲讽：“蠢！天真！然还太年轻！技术核心没错，但这做就缘木求鱼！”

攻破核心技术哪那容易？

那些科研团队从立项到拿到资金再到解决关键技术问题并实现产业化，可都一朝一夕的事！

陈惊璆以为就他聪明、就他们想到这联合技术链的办？

单说那光刻机双工作台的核心技术，11年获得国家02专项立项至今，思念过去还没出结。

技术攻破首要资金，没资金学人开什公司？做什技术开发？

凭那点天真热血的冲动想而忽略脚下牢靠的基石，太蠢。

郑河如冷漠傲慢的想着，打发走计海，将消息简单汇报给陈天鹤。

陈天鹤正从私人专机上下来，落到美国的土地上。

“陈惊璆的事以后用跟我说。”陈天鹤冷漠的说。

他抬头观这座灯火通明的城市——

加利福尼亚州圣迭戈市，高通总部。

陈天鹤此的目的。

光源系统光刻机制造的核心，晶圆光刻工程的起始步，与光刻工程后续每一步息息关。

光源系统主要大单元光的产生、收集和均一化，初光刻机的光源系统还包括光的纯化，但第四、第五的激光器产生的光源已经达到要求，只需要让光均匀化就。

光雕刻的工具，由激光器产生，涉及项技术指标即光刻分辨率、套刻精度和产能。

光刻分辨率一道计算公式，照公式调整影响数从而提高光刻分辨率，这方面难度大，但受掩膜设计、抗蚀剂工艺等牵制，必须同达到最佳化才能实现理想的光刻分辨率。

套刻精度与光刻分辨率关，直接受其影响。

至于产能，则与光源系统的稳定关。

以上对激光器的要求，对整光源系统的技术要求算高，系统工程程序中最难的步骤光的收集。

收集难度大，转化效率也低。

雷客坐在电脑前，操纵鼠标在软件里做精密的计算：“所需的极紫外光必须在真空下反射，能被折射，为它非常容易被吸收。真空腔内的反射镜需要特殊镀膜，把这束光，从光源一路引导到晶圆……经过十e次反射，最终剩下的光线到2%！”

围观过来的研发部成员倒吸一口凉气，虽早知光源转化率低，但到这数字还低得让他们心疼。

光源转化率低就意味着能量的巨大消耗，最直观的例子，一台euv机器输出功率两百瓦左右，工作一天，耗电万度。

光线利用率到2%已经优化其他性能所能够得到的最佳数据，决定该性能优化的决定性关键就反射镜的精度。

“精度必须以皮秒来计算。”

换句话说，光刻机所需的反射镜精度必须打磨到万亿分之一米。

盛明安：“用硅和钼反复镀膜，直到光线利用率达到国际标准。”

当下人反驳：“都纳米级镀膜，反复镀膜也会影响精度，工艺太难！”

难度多大？

最浅显易懂的比喻便将一面直径超过四十厘米的反射镜放大至覆盖地面，其平面起伏能超过一根头发的直径。

而光刻机所需的反射镜多达四五十层，平面精度一层比一层要求更平整。

全球只德国蔡司这家传承以上的企业才造得出这种反射镜。

当然，反射镜对华出口。

盛明安：“用担忧反射镜能能被打磨出来，你们只需要尽己所能考虑反射镜在光的收集和转化率这一单元里，能够被如何利用到极致。”

“数据、模型，管失败成功，统统记录下来。”

盛明安语速打机关-枪似的，斩钉截铁、容置喙，仿佛难度高到爆表的光源系统在他眼里层次分明、井然序，所的技术难点都可以被轻松解决。

他胸成竹，心沟壑。

他必开口安慰，只要用平淡轻松的口气下达每一道指令就能安定实验室每人退怯、自信的心。

“杜颂，打开你的delica先初步的超精密激光器建模仿真。”

delica一款可实现复杂的物理系统仿真建模的计算机语言软件，可用于光刻机某些超精密部件的仿真建模。

杜颂：“已在创建。”

他领着自己小组成员低头忙碌。

“雷客，你调整一下光路结构。”

“好。”雷客示意助手打开opc（光学邻近矫正）软件，通过模型动态仿真结计算查找表修正光与图案。